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半導體工業空氣過濾器的必要性


活性炭過濾器過濾等級技術可以將潔淨室精密過濾器的粉塵濃度降到近乎為零,你想要多干淨都能達到。當芯片上的線寬小到0。5mm時,人們發現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害,於是,在線寬小於0。5mm的芯片廠空調系統中普遍配空壓機置了精密空氣過濾器。精密空氣過濾器的原理和制造工藝並不復雜,它就是活性炭過濾器,但傳統的活性炭過濾器制造廠和軍工廠沒有搭上芯片廠這班車,芯片廠的活性炭過濾器大都是空調過濾器的制造廠家提供的。

  化學污染物的來源可能是:室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數情況下,設計師和現場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,為他們提供的化學過濾器至少應具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對什麼都能多少吸附些,能有這種功能的就是最普通、最便宜的顆粒活性炭。如果能確定污染物種類,就可以對活性炭材料進行有針對性的化學處理,以增空壓機維修強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應商有時還要提供相應的現場檢測服務,以幫助用戶確定反滲透過濾器的使用情況,這就要求供應商中有搞化學過濾的專家,並與名氣大的化學實驗室有密切的關系。遺憾的是,國內過濾器廠商沒有幾家在那上面下功夫,所以國內芯片廠目前使用的化學過濾器多數是進口產品。

  半導體工業並非人們普遍認為的“無煙工業”,它也有環境問題。那裡經常采用最新的工藝和材料,有些化學物品在其安全性尚未得到評估前就已經大量使用了,稍不小心就會造成嚴重的化學污染,既有地下水污染,也有空氣污染,硅谷就曾為此付出過驚人的代價。為了保險,有些企業在排風系統復盛牌空壓機中也使用化學過濾器。
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